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真空舱体 W305 mm × H300 mm × D370 mm (34 升)
* 分层(多到6层) 电极-托盘
* 不锈钢舱体
* 40KHz 射频发生器
* 针孔电极
* 3气路，MFC
* 电脑控制 (Windows)
* 功率连续可调 0-1000W
* 自动阻抗匹配
* 电磁阀保护，回流油雾不能进入舱体
* 规格：W600 mm×H2200 mm× D850 mm
* 电源：AC 380V/50Hz
选装件
* 13.56 MHz 射频发生器
* 2.45 GHz 射频发生器
* 加深舱体 D625mm* 旋转圆筒舱体(适用于处理颗粒状样品)
详情参见配件选装指南
